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  • Funcionamiento y ventajas de una bomba Molecular de turbina
    Jan 16, 2018

    Turbo bomba molecular es el uso de rotación de alta velocidad del impeledor móvil para transmitir el impulso a las moléculas del gas, el gas generado flujo direccional de labomba de vacío. Turbo molecular componentes principalmente por el cuerpo de la bomba, el rotor con la hoja (es decir, movimiento impulsor), impulsor estática y sistema de impulsión de la bomba.


    Ventaja

    Como turbo bomba molecular en algunos aspectos, es mejor que la bomba criogénica, funcionamiento de la bomba bomba y difusión ion es superior. Por lo tanto, en el caso general, más uso de turbo bombas.


    Reflujo de vapor limpio, libre de aceite (1)

    Bomba molecular Turbo puede funcionar sin ningún bien y operan de acuerdo con las reglas de operación, que pueden proporcionar un entorno vacío limpio para el contenedor bombeado y no contienen ningún hidrocarburos.


    (2) conveniente para utilizar

    En muchas aplicaciones, bombas turbo no requieran altas válvulas de vacío o válvulas de vacío ásperas. Pulsa el botón, la bomba puede empezar a trabajar, desde la presión atmosférica puede reducirse a la presión final. El sistema puede ser grueso bombeado por las bombas turbo moleculares y puede acelerar hasta la velocidad de funcionamiento. Esto elimina la necesidad de válvulas, tuberías, trampas, controles de válvulas y otros componentes de vacío. También elimina la falta de estos componentes.


    (3) capacidad de transporte de Gas fuerte

    La mayoría turbo bombas moleculares tienen una capacidad fuerte para gases ligeros como hidrógeno y helio, lo que es ideal para las operaciones de proceso en ultra alto vacío. Una bomba de turbo molecular especialmente diseñada para la eliminación de gases corrosivos es conveniente para aguafuerte, aguafuerte reactiva del ion, ion viga trabaja a máquina, deposición química de vapor de baja presión, procesos de implantación de epitaxia y ion. Durante los procesos, el gas evacuado puede corroer bombas criogénicas, bombas de iones, aceite para bombas de difusión e incluso destruir las bombas moleculares estándar turbo sin protección. Como la bomba molecular turbo pertenece a la bomba de la transmisión, el gas bombeado no se acumularán en la bomba, por lo que es conveniente para el proceso de carga de gas alta.


    (4) adecuado para aplicaciones de vacío alta Ultra

    Una buen turbo bomba molecular para el sellado y desgasificación está equipada con bomba rotativa de dos fases con buen funcionamiento (o el mismo rendimiento seco antes la bomba). El último vacío puede llegar a 10-9a 10-10Torr (133.3 a 13.33 nPa). Si una bomba turbo-molecular está conectada a otra bomba turbo-molecular utilizando una bomba de metal sellado y bien desgasificada, la presión máxima normalmente es 1 × 10-101 × 10-11Torr (13,33 a 1,333 nPa) entre. Y a diferencia de bombas criogénicas o ion bombas, turbo bombas moleculares operan a toda velocidad bombeo en condiciones de vacío ultra altas.


    (5) buen rendimiento bajo alta presión

    La presión de entrada de algunas bombas moleculares de turbo puede funcionar entre 10-1y 10-3Torr (13.33 Pa a 133.3 mPa). En este rango de presión, la bomba de ion no puede utilizarse, por la necesidad de la bomba criogénica regular la velocidad de bombeo o regeneración regular, y el trabajo de la bomba de difusión será inestable.


    (6) tiempo de ciclo corto

    La mayoría de lo turbo molecular bombas, uno especialmente más pequeño, generalmente necesitan 1 ~ 3 minutos para llegar a la velocidad normal. Bombas de diferentes tipos y modelos son diferentes y pueden ser cerradas inmediatamente y pueden estar expuestas a la atmósfera.


    (7) uso normal por mucho tiempo

    En algunas aplicaciones, el tiempo de uso normal de la bomba de turbo molecular es superior a la de otras bombas. Debido a la carga pesada de gas y válvula de salida, hará que la regeneración de intervalo con frecuencia variable bomba criogénica a menudo reparar bomba de iones y bomba turbo-molecular puede utilizarse también para eliminar la contaminación de aceite de la bomba de la cámara de vacío.


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