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  • Introducción sobre vacío
    Jan 22, 2018

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    1. nociones de vacío


    "Vacío" significa el espacio de cualquier gaseosa del estado bajo que presión es inferior a la presión atmosférica. El gas es más fino en este espacio, por lo menos más delgado que la atmósfera, pero no se puede encontrar el absoluto "vacío", es decir, el espacio sin las partículas gaseosas, y 10 mil kilómetros de distancia de la tierra, hay 3 ~ 4 centímetros cúbicos por centímetro cúbico de las moléculas.


    Como el grado del vacío es el problema del tamaño de la presión del gas y la unidad de medición de la presión es la unidad de medición del grado de vacío. La unidad estándar internacional es «Pa», que también puede ser medido en "Torr", "Bar" y "mbar". La relación entre ellos está dada por la siguiente fórmula:


    1 presión atmosférica estándar = 1.01 x 105 Pa = 760 Torr = 1.01 x 103 mbar


    2. ¿por qué usted necesita cubrir un vacío?


    El material de recubrimiento de evaporación a presión atmosférica para formar el ideal de la película, de hecho, como en la baja presión suficiente (o vacío no es lo suficientemente alto) bajo la condición de la misma no puede obtener buenos resultados, como la orden de 102 manutención bajo al vapor, la película no sólo sombrío, incluso gris, negro y la fuerza mecánica es pobres, con un cepillo para cepillar suavemente la ardilla va a destruir la capa de aluminio. La evaporación se llevará a cabo en ciertas condiciones de vacío, debido:


    (1) el más alto grado de vacío asegura que la trayectoria libre media del vaporizador es mayor que la distancia entre la fuente y la base.


    Debido al movimiento termal de moléculas de gas, la colisión entre las moléculas es extremadamente frecuente, la velocidad del movimiento de las moléculas del gas es bastante alta (hasta varios cientos de metros por segundo), pero que se desplaza hacia adelante más a menudo que otras moléculas de colisión, la distancia de que una molécula se mueve entre dos colisiones sucesivas se llama su camino libre, y la media estadística de la vía libre de un gran número de moléculas se llama la trayectoria libre media de la molécula.


    Puesto que la presión del gas es proporcional al número de moléculas por unidad de volumen, la gama libre promedio es proporcional a la presión del gas. En el proceso de películas delgadas de deposición de vacío, cuando la distancia del depósito es mayor que la trayectoria libre media molecular, se denomina baja deposición de vacío, y cuando la distancia del depósito es menor que la trayectoria libre media molecular, se llama alto vacío deposición. En proceso de alta deposición de vacío, la evaporación de átomos (o moléculas) y la colisión de las moléculas de gas residual es insignificante, por lo que los átomos vaporizados volar en línea recta hacia el sustrato, manteniendo así la energía cinética más grande llegando a la átomos vaporizados del sustrato y el substrato se condensa en una película más sólida. En deposición de vacío bajo, cambian la velocidad y la dirección de los átomos vaporizados con el resultado de la colisión, o incluso la formación del átomo de vapor agregados en el espacio. La razón es similar a la del vapor de agua en la atmósfera.


    (2) contaminación por gases residual puede reducirse al alto vacío


    En el caso de la aspiradora no es demasiado alta, que la cámara de vacío contiene un gran número de moléculas de gas residual (oxígeno, nitrógeno, agua e hidrocarburos, etc.), que pueden traer grandes daños a la chapa de la película delgada:


    ● chocan con las moléculas de vaporizado de la película tal que la trayectoria libre media llega a ser más corta.

    ● Chocan con y reaccionan con la superficie está formada por la película.

    ● Que se esconden en la película formada y atacan poco a poco la película; combinan con la fuente de evaporación para reducir su vida útil.

    ● Formó en la superficie de la capa de óxido de película evaporada para que el proceso de evaporación no se puede realizar sin problemas.


    3. Medición de vacío


    El desarrollo de la tecnología moderna del vacío ha hecho posible medir la presión del vacío de la presión atmosférica hasta 10-12pa y no es posible utilizar sólo un tipo de indicador de vacío para realizar el trabajo de medición en una amplia gama y hay varios tipos de medición de vacío del manómetro de vacío respectivamente para completar su gama:


    (1)  Vacuómetro de termopary manómetro de vacío Pirani


    Dentro de un cierto rango, la conductividad térmica del gas es una función de la presión, que es el principio de medición de los termopares y medidores de Pirani.


    Termopar calibrador de vacío adopta el método de medir el cambio de temperatura directamente a trabajar. Cuando el calentamiento actual se mantiene constante, si la presión del gas disminuye, entonces disminuye la conductividad térmica del gas, aumenta la temperatura de funcionamiento del termopar, la correspondiente fuerza termoeléctrica que es aumentar, a través del relación entre presión y fuerza motriz para determinar la presión del sistema.


    Medidores de vacío Pirani y medidores de termopar también se utilizan como medidas de vacío de mediano alcance. Vacuómetro Pirani tiene un cristal o una cáscara del metal, la carcasa está equipada con resistencia da alta temperatura del cable (por ejemplo, platino, tungsteno, etc.), con la caída de presión, la temperatura del filamento y la resistencia aumentará, según la medida del valor de la resistencia, el valor de presión puede ser obtenido indirectamente.


    (2) calibrador cátodo frío


    El medidor de vacío de ionización de cátodo frío se llama también el medidor de vacío del encierro. Cuando el tubo de descarga funciona a presiones inferiores a 102 - mbar, puesto que las moléculas del gas del cátodo al ánodo pocos colisión de electrones con el gas molecular proceso de rara vez, por lo que la corriente no está relacionada con la presión del gas. Si el campo magnético se fortalece en la dirección vertical del movimiento del electrón, entonces la trayectoria del movimiento del electrón se convierte en espiral, por lo que la oportunidad del electrón, ionización de las moléculas de gas aumenta considerablemente. Incluso en densidades del gas muy baja, una gran cantidad de gases puede ser ionizada. Cuando el voltaje del ánodo y la fuerza del campo magnético son constantes, para un cierto gas de composición, la corriente iónica está directamente relacionada con la presión, que es el principio de funcionamiento del manómetro de vacío de cátodo frío.


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