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  • Formación de películas delgadas
    Jan 23, 2018



    1. la coagulación es el resultado de la adsorción mutua de las moléculas de la matriz y los átomos de evaporación


    En vacío, cuando incide de cierta energía del átomo se evapora en la superficie del sustrato, intercambio de energía con la molécula del sustrato se efectúa por el campo de fuerza de la superficie del sustrato y adsorción física y quimisorción ocurra entre el evaporación del átomo y la molécula de sustrato. Adsorción física es cualquier dos fuerzas de Vander Waals cerca uno del otro entre las moléculas, y adsorción química es la unión química entre átomos. No todos los de la evaporación de átomos puede adsorción de moléculas de sustrato, algunos de los átomos de mantienen la mayor parte de la energía y la colisión ocurrió después de la reflexión, incluso ésos evaporadas átomos adsorbidos aún pueden ser transferidos en la superficie del sustrato o por desorción y dejar la superficie del sustrato. Además, en la superficie del sustrato, es una asociación entre los átomos evaporados y el mismo tipo de átomos adsorbidos sobre la superficie del sustrato. El proceso de evaporación átomos adsorbidos por el sustrato se denomina aglomeración.


    La relación de la condensada átomo a átomo incidente se denomina el coeficiente de la coacervación del átomo de evaporación. Debido a la diferente atracción entre los átomos, el coeficiente de aglomeración del mismo tipo de átomos de evaporación para distintos sustratos es diferente.


    Cada átomo evaporada tiene diferente temperatura crítica de la formación de película para diferentes sustratos y la temperatura del sustrato es inferior a la temperatura crítica de la película, puede ser condensado. Este fenómeno puede interpretarse como: cuando la temperatura del sustrato es demasiado alta, los átomos de evaporación que inciden sobre la superficie del sustrato se refleja o desorbidos. En la película formando proceso (película formando base existente), aunque la temperatura del sustrato excede la temperatura crítica, la película puede seguir creciendo, y cambiará su estado de cristalización. En la primera etapa de la formación de películas, la película está en estado amorfo o cuerpo vítreo, con el aumento de la temperatura, la película poco a poco a la transición metaestable, si esta tendencia continúa, se transformará para estable, finalmente en láminas cristalinas.


    2. proceso de película delgada


    Al principio de la deposición, se absorbe uniformemente la superficie del sustrato algunos evaporación de átomos, la interacción entre los átomos de la evaporación se reúnen en algunos núcleos que crecen, migración, la fusión, la formación de un número de pequeñas islas (gran cristal núcleos reunieron), la superficie basal de crecimiento mayor de estas islas similares a uno otro, se conectan para formar una isla. Con la deposición, las alturas de estas islas e islotes están aumentando, y finalmente se forma una estructura de red con las zanjas en la superficie entera. El resultado de la continua evaporación, evaporación átomos también continuamente están nucleados e isla en las trincheras y finalmente las zanjas completadas poco a poco se llena. Cuando se llenan las zanjas y agujeros en la superficie de la base, seguirán los átomos evaporados construir todo tipo de películas en estas estructuras.


    Bajo el microscopio, se aprecia que las películas de evaporación térmica convencional son estructuras cilíndricas de todo. La dirección del cilindro es igual a la del crecimiento de la película, pero perpendicular a la interfaz de la película, y hay muchas diferencias entre estos cilindros. Medición de la brecha total en la película por densidad de relleno:


    Relleno de densidad (P) = volumen de la parte sólida de la película (cilindro) / el volumen de la película (cilindro + poro)


    La densidad de llenado es una función de la temperatura del substrato y en la mayoría de los casos, la densidad del relleno aumenta con el aumento de la temperatura del substrato. En general, aumento de la tasa de evaporación puede aumentar la densidad de llenado, y el efecto de la tasa de evaporación es particularmente importante cuando la película es más baja. La densidad también aumenta con el aumento de espesor de la película. Esto es probablemente debido al cambio del estado de la estructura de la película durante el proceso de formación de película. También puede ser debido a la obstrucción de una parte de los poros de la película en el proceso de formación de película.


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