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  • Medidor de flujo másico de alto vacío

    Medidor de flujo másico de alto vacío
    Introducción El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de semiconductores e IC ...
    Detalles:


    Especificación



    Rangos de flujo

    (20,30,50,100,200,300,500) SCCM

    (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM

    Exactitud

    ± 1.5% FS

    Linealidad

    ± 1% FS

    Repetibilidad

    ± 0.2% FS

    Tiempo de respuesta

    ≤4 sec

    Coeficiente de temperatura t

    Cero: ≤ ± 0.1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0.2% FS / ℃

    Presión máxima

    3MPa

    temperatura de operacion

    5 ℃ ~ 45 ℃

    Material de sellado

    Viton, neopreno

    Configuración / señal de salida

    0V ~ + 5.00V

    (Impedancia de entrada> 100K, corriente de salida≤3ma)

    Fuente de alimentación

    + 15V 50mA

    -15V 50mA

    Conexión eléctrica

    D sub 15 pins Mujer

    Presión diferencial

    0 .01 MPa

    Tasa de fuga

    1 × 10-8atm • cc / seg He (1 × 10-9 Pa • m 3 / seg He)

    Junta estándar

    SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (interno) × 1 Acoplador de manguera, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (interno) × 1 Acoplador de manguera

    Medios de comunicación

    Todo Gas

    Emi

    CE

    Peso

    0.92kg



    Introducción


    El medidor de flujo másico (MFC) consta de tres dispositivos básicos: sensor de flujo, derivación del divisor de flujo y placa de circuito impreso, mide con precisión las tasas de flujo másico a pesar de que el volumen del gas fluctúa debido a los cambios de temperatura. El MFC se aplica ampliamente en los campos de fabricación de semiconductores y circuitos integrados, ciencia de materiales especiales, industria química, industria petrolífera, industria farmacéutica, protección ambiental, investigación de sistemas de vacío, etc.



    Caracteristicas


    Alta precisión, larga vida útil, excelente repetibilidad

    Respuesta rápida, arranque suave, buena confiabilidad

    Amplio rango de presión de operación (buen funcionamiento en alta presión o situación de vacío)

    Operación fácil y conveniente

    Se puede instalar donde sea necesario y conectarse con la computadora para realizar el control automático.

     


    Aplicación tipica


    Las aplicaciones típicas de MFC incluyen equipos de proceso microelectrónicos como difusión, oxidación, epitaxia, CVD, plasma, grabado, pulverización catódica, implantación de iones y otros campos como equipos de deposición al vacío, fusión de fibra óptica, equipos de microreacción, sistema de mezcla y combinación de gases , sistema de control de flujo capilar, cromatógrafo de gases y otros instrumentos analíticos.



    Dimensión de instalación


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    Embalaje: 1. Caja de madera

    2. Cartón

    3. Como su petición


    Pago: T / T, L / C, etc.


    Tiempo de entrega: normalmente 10 ~ 15 días después del pago


    Envío: por aire o por mar


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