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  • Máquina de recubrimiento por evaporación continua

    Máquina de recubrimiento por evaporación continua
    Aplicación del equipo, película fotoeléctrica de evaporación de pistola de electrones continua de gran área, película óptica y película anti huellas dactilares. IKS-OPT2050 Máquina de recubrimiento por evaporación continua. Está diseñada para realizar la producción masiva y rápida de película de capa óptica de gran área y película modificada en superficie de monocapa, es una máquina de recubrimiento de cámara múltiple vertical de entrada continua, es un sistema de recubrimiento que se basa en el Pistola de electrones doble evapora el recubrimiento del material a películas ópticas multicapa. El producto principal de este equipo es una película de evaporación, película dieléctrica óptica multicapa, película antihuellas, etc., como, película de color de luz visible, película de espejo de aluminio, película anti-huella digital de AF, película orgánica de bajo punto de fusión, visible película de luz dividida, película anti-reflejo de luz visible, etc., también puede ser una producción de depuración para el producto específico de película de óptica simple.
    Detalles:

    l   Máquina de recubrimiento por evaporación continua IKS-OPT2050 tipo vertical

    IKS-OPT2050 (1) .pngIKS-OPT2050 (2) .png

    Diseño de la línea de producción :


    · Para lograr una producción masiva, de alta calidad y rápida, la máquina de recubrimiento continuo está equipada con un juego de pistola electrónica de orificios múltiples y un juego de alimentación continua de evaporadores al sistema de evaporación.

    · La máquina de revestimiento continuo adopta el diseño independiente de la entrada y la salida del bastidor de la pieza de trabajo, el aislamiento de vacío mediante la válvula de compuerta independiente, el sistema de transferencia automática continua del sistema de transferencia, la revolución automática del sistema de control y el acabado del revestimiento.

    · Tiene una cámara de entrada y salida de rack de pieza de trabajo independiente y cámara de recubrimiento, para separar el proceso de pre-recubrimiento y recubrimiento por vacío, para mejorar el ciclo de trabajo y para asegurar la estabilidad del proceso y la limpieza del ambiente de la entrada de rack de pieza de trabajo y salida.

    Características técnicas:

    1. Operación: Auto / Semi-Auto, fácil de operar

    2. El ritmo de la entrada continua del bastidor de la pieza de trabajo: intervalo de menos de 2 minutos

    3. Fuente de evaporación: un conjunto de sistema de evaporación de pistola electrónica con varios orificios

    4. Fuente de evaporación: un conjunto de sistema de evaporación resistiva de alimentación continua

    5. Recubrimiento de película: varias películas de óptica de color y películas antihuellas.

    6. Control de precisión: INFICON XTC3 / S

    7. Vacío: Bomba molecular + bomba de raíces + bomba rotativa

    8. Enfriamiento: Tres conectores de condensador de temperatura ultrabaja

    9. Película de revestimiento: película dieléctrica de óptica multicapa, películas antihuellas

    10. Fuente Ion: Fuente de Hall, potencia 4KW

    11. Calefacción: Adoptar tubería de calefacción forrada para calefacción.

    12. Rack de pieza de trabajo: entrada continua rack de revolución de pieza de trabajo

    13. Control del proceso: adopte un diseño de sistema de película TFC suave para generar el parámetro de control, luego el control de ejecución del PLC

    Parámetros técnicos:


    1. Espacio de instalación efectivo : W8500XL4500XH3400mm

    8. Tasa de deposición: XTC3 / S, precisión de 0.5nm

    2. Cámara de vacío : W2050XL2050XH1800mm

    9. Cámara de entrada y salida del bastidor de la pieza de trabajo: podría instalar el módulo de calefacción, limpieza y preprocesamiento, posprocesamiento

    3. Carga : umbrella1900XH50mm soporte de paraguas de acero inoxidable

    10. Vacío: el medidor de flujo y la válvula de aguja controlan el gas de proceso

    4. Material objetivo: Un juego de pistola electrónica de orificios múltiples, agua de enfriamiento de cobre

    11. Fuente de energía: 220V 50HZ

    5. Evaporación: un conjunto de sistema de evaporación de alimentación continua

    12. Brida externa: KF16 y KF25

    6. Sonido de vacío: ATM-6X10 -4 Pa

    13. Sistema de vacío: bomba rotativa, bomba de raíces y bomba molecular

    7.Ión Fuente: Fuente de iones Hall, 4KW


    Introducción de la estructura del equipo:


    El equipo consta de la cámara de vacío, el grupo de bombas de vacío, el funcionamiento del bastidor de carga, el proceso de recubrimiento, el tratamiento previo y el sistema de control de gases de proceso.

    IKS-OPT2050 (4) .png

    (1) Es una cámara de vacío tipo caja, el tamaño es W2110XL2110XH450mm. Adapte la placa de acero inoxidable SUS304 (el grosor es de 30 mm) para soldadura y conformación reforzadas. Alivio del estrés por recocido. Puerta de acceso diseñada en la parte superior. De acuerdo con el requisito del proceso, la cámara podría instalar el preprocesamiento, como calefacción, plasma, etc. El aire se conecta con la cámara de procesamiento por una válvula de compuerta (W2100XH1500mm). El sistema de vacío consta de 4 juegos de bomba molecular FF250 / 2000, 1 juego de BSV90, 1 juego ZJP600 y 2 juegos de 2X-70, para expulsar el aire. para seleccionar

    (2) Es una cámara de vacío cuadrada W2050XL2050XH1800mm (agua de soldadura que se enfría en la pared exterior). La placa de diseño tiene una válvula alta para conectar el aire de escape de la bomba molecular. El sistema de bomba consta de 8 juegos de bomba molecular FF250 / 2000, 1 juego ZJP300 y 1 juego 2X-70. Dos caras laterales de la cámara se conectan con la entrada de la pieza de trabajo y la cámara del bastidor de salida por la válvula de compuerta. Instalación de la puerta de acceso en la placa frontal, acero inoxidable SUS304, con dos ventanas de inspección. La pared interior de la cámara instaló una placa de espejo de doble capa y una tabla antiincrustante. El sistema de transferencia importado de fluido magnético instalado en la parte superior, el sistema de autorrotación, el sistema de calentamiento de la envoltura frontal de cuatro sectores y el tablero de ajuste uniforme. La parte inferior instaló un sistema de evaporación de pistola electrónica de crisol de cobre de 8 orificios, 1 juego de evaporación resistiva de electrodo de alimentación automática de 1 juego, 1 sistema de deposición de asistencia de fuente de iones Hall, 1 juego de control de grado de espesor de película de recubrimiento XTC3S, 2 juegos de placa de ajuste uniforme ajustable. La cara lateral de la cámara ha diseñado un sistema de admisión de aire uniforme, medidores de flujo de dos vías a través del tanque de gas mezclado para conectar la cámara, ajustar el grado de vacío del revestimiento mediante el control de flujo.

    (3) Adopte un diseño de sistema de película suave para diseñar el sistema de película multicapa, generar un parámetro de control y, a través del PLC, controlar el grado de espesor de la capa de película por XTC3 / S.

    Aplicación del equipo:

    ·      Película fotoeléctrica de evaporación de pistola de electrones continua de gran área , película óptica y película anti huellas dactilares. IKS-OPT2050 Máquina de recubrimiento por evaporación continua. Está diseñada para realizar la producción masiva y rápida de película de capa óptica de gran área y película modificada en superficie de monocapa, es una máquina de recubrimiento de cámara múltiple vertical de entrada continua, es un sistema de recubrimiento que se basa en el Pistola de electrones doble evapora el recubrimiento del material a películas ópticas multicapa. El producto principal de este equipo es una película de evaporación, película dieléctrica óptica multicapa, película antihuellas, etc., como, película de color de luz visible, película de espejo de aluminio, película anti-huella digital de AF, película orgánica de bajo punto de fusión, visible película de luz dividida, película anti-reflejo de luz visible, etc., también puede ser una producción de depuración para el producto específico de película de óptica simple.







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